油式真空泵在使用过程中因为保养不到位或这样那样的问题导致出现一些故障，建议按以下步骤进行：
1：切断电源，将真空泵从真空系统上卸下;
2：用重力法或加压法将脏油放出并收集起来，以免污染环境；
3：卸下皮带、皮带轮积键(双级旋片真空泵包含皮带);
4：先拆低真空端，取下后端盖，再取出低真空转子、旋片及弹簧等；
5：将前端盖拆下，取出高真空转子、旋片及弹簧等；
6：取下视镜、排气阀、排气盖等；
7：将所拆下的金属零件用汽油彻底清洗干净，并用酒精脱水。橡胶零件可用15％的氢氟化钠水溶掖煮沸去油。对有毛刺或生锈的零部件．可用油石或金相砂纸轻轻地研磨，以去除锈斑和毛刺。清洗后的零部件必须烘干；
8：装配时，先装后级，将弹簧、旋片托起装入转子内，然后放入进口真空泵腔．装上前端盖．再装定位销．均匀对称地拧紧螺钉。装配后．应保证转动灵活、均匀。装好前级转子及后端盖后，再装排气阀（排气阀片应贴紧阀座）及其它件，如气镇装置等。