真空镀膜设备是由很多精密的零部件所组成的，这些零部件均通过很多机械加工流程而制作出来，如焊接、磨、车、刨、镗、铣等工艺。正因为有了这些作业，致使设备零部件表面难以避免地会沾染一些加工带来的油脂、油垢、金属屑、焊剂、抛光膏、汗痕等污染物。这些污染物在真空条件下易挥发,从而对设备的极限真空造成影响。

  除此之外,这些机械加工带来的真空污染物在大气压环境中吸附大量的气体,而到了真空状态下,这些原先吸附的气体也会被再次释放出来,成为限制真空系统的极限真空的一大主要因素。为此,在真空镀膜机零件组装之前,必须先将污染物清除掉。

  在使用真空设备过程中,其零部件还会受污染。不过这种来源的污染主要是使用条件、真空泵两方面造成的。

  1、由于工件溅射,离子束刻蚀设备的内壁会被溅散物所污染；

  2、真空蒸发镀膜设备的内壁会被其蒸镀靶材材料污染；

  3、真空规管的灯丝在高温条件下蒸发,将致使陶瓷绝缘子上形成一层薄膜,对其绝缘强度有一定的损坏,对其测量的准确性也有一定的影响；

  4、由于高温蒸发,会使真空中的电子枪的灯丝附近表面形成一层金属膜；

  5、经常使用真空干燥系统,该系统会受蒸发出来的物质所污染；

  6、真空镀膜设备中的扩散泵油、机械泵油等更是一大主要污染来源,镀膜机长期作业后,设备内部可能会形成一层油膜。

  综上所述,设备的真空卫生涉及到真空设备、真空系统、真空工艺生产等各方面与环节,涉及到了真空镀膜设备本身和特殊真空工艺对使用条件的要求,因此,真空设备污染是一个值得被重视的问题,因为这些污染会影响设备性能,应注意定期或随时进行清洁作业。