罗茨真空泵发动程序：

　  （1）、发动前级泵。

　　（2）、翻开前级泵预抽官路商的阀门和罗茨泵进气口上的阀门。

　　（3）、待体系内的压力到达罗茨真空泵的允许的压力后，封闭预抽阀门，起动罗茨真空泵，如无预抽管路及阀门，则待到达起动压力后起动罗茨真空泵，此进程亦可选用压力传感器自动控制，完成整个进程的自动化。

　　（4）、根据真空体系的实际情况，假如不是大的真空体系，则起动前级泵后即可起动罗茨真空泵。假如是较大的真空体系，虽然带溢流阀的罗茨真空泵具有过载维护作用，但这种维护仅仅对电机的维护，罗茨泵本身仍可因为长时间工作在高压力下，而产生过热卡死，应待前级泵抽到一定压力后再起动罗茨泵。

罗茨真空泵停车程序：

　　（1）、封闭罗茨真空泵进气阀。

　　（2）、从上到下逐级停罗茨真空泵，最终停前级泵，严禁搞错程序。

（3）、前级泵停车后，立即向前级泵进气口放气。