真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。

高温的原因：风扇转速低，风压，风量小。电机功率大，工作电流大，发热量大。风扇叶片数较少，产生的风量小。真空泵电机所在母线电压380V，由于电缆压降及负荷分配不均，电机实际所加电压只有365V，电压偏低造成运行电流大。电动机附有灰尘、油污，降低了散热能力。

解决方法：电机功率、转速是和真空泵 相匹配的，不能更改。风扇安装于电机主轴上，电机转速决定了风扇转速，也不可更换。增加风扇叶片数量虽能起到一定作用，但叶片数量增加后，动平衡不容易找，如找正不好，会引起电机振动增加。将原风扇罩加长40cm，在里面加装一个与风扇罩同直径轴流风机，轴流风机电机功率850W，转速1489r/min，电压380V。原风扇继续保留。轴流风机服装学校另设一路电源控制，轴流风机与主电机不设连锁。真空泵启动后及时启动轴流风机运行，真空泵停运后30min停运轴流风机，以使主电机得到充分冷却；定期清除电机上灰尘，保持电机散热片清洁，增加其散热能力；将真空泵所在母线电压调整为400V。

为了停泵时防止真空泵油返到被抽容器，内置停泵防返油装置就十分重要。防止停泵返油通常靠气路和油路的结合来实现，常用的方法有：

在进气通道上设置停泵防返油装置。

在油路上设有停泵控制防返油装置。

真空泵防返油阀原理：可靠的进气口防返油装置，双重保护，不返油，保证了真空系统安全。

保护一：停泵时隔离阀关闭真空系统;

保护二：停泵时关闭油路并向泵腔充气。

真空泵运行期间，控制活塞在油压作用下顶着弹簧保持密封。防倒吸阀的阀盘由于自重保持在较低位置(阀门开启)。泵停机后，油压下降，弹簧将控制活塞向上顶。这样就在油箱与防倒吸阀的活塞之间形成了一个通路。以上为真空泵防返油阀原理的介绍，对比用弹簧来控制防返阀的真空泵，莱宝真空泵防返油效果更好，故障率较低，维修更加简单。