说到真空泵机组发生内漏现象的话，我们其实也就是要注意它大多也就是会发生在有水冷套的一个设备上。说到真空泵机组发生内漏现象，其实也就是在我们检查外漏没有发现疑点，但是就其机械泵的抽速上其实也就是会明显偏低，还有就是其真空计示值比较低或者是机械泵油很快乳化。

如果发现真空泵机组中的真空室内的铁基零部件上会明显锈蚀的现象的时候。基本可以确定它发生了内漏的现象。这个时候，要注意应该要先把内壁进行清理干净，接下来，要通冷却水，看它有没有无湿润点，它的湿润处就是它的漏点。

真空泵机组小漏和微其实也就是比较难查，常用的方法是要利用它在高真空状态下电离管对于某些气体反应敏感来进行检漏。比较常见是指丙酮或者是乙醇，可以用医用注射器直接的就向可疑的地方进行喷射丙酮或者是乙醇，当喷到漏点的时候，我们就会发现对于电离计的指针上会有比较明显的摆动。

用这种方法对真空泵机组进行检漏一定的要有耐心，一定要等到电离计的示值稳定了之后，就这个方面来讲的话，我们就是会发现它在抽气能力与漏率上其实也就是会实现了平衡，接着可以实现喷射。

对于真空泵机组较大的漏点，可以直接的就用火焰法，利用气流来直接的就使火焰进行偏离的原理，要注意应该先要抽上真空，接下来的话，要用蜡烛或者是打火机在真空泵机组可疑点附近进行逐步查寻。